玻璃

新型红外光学器件制造工艺在玻璃中加工玻璃

发布时间:2022/7/30 14:33:26   

在光学学科中,玻璃的行使险些无处不在。玻璃科学的陆续前进和协商中显现了多种玻璃成份和配方,涵盖了普及的物理个性,譬喻晶莹光谱窗口、色散、线性和非线性折射率、表面耐刮擦性、脆性、化学安定性等。针对红外波段来讲,硫属化物玻璃仰仗其卓越的透射窗口、高折射率和非线性光学个性而被大批运用,但由于这类玻璃较差的板滞功能和较低的化学和处境安定性,临盆硫属化物玻璃以及对其加工、集成和包装仍旧是一个庞大的挑战。

为相识决这一题目,瑞士洛桑联邦理工学院(EPFL)的协商人员开辟了一种崭新的缔造工艺,该工艺能够将红外玻璃嵌入到另一种玻璃(如二氧化硅)基底中,并以此造成繁杂的3D形态,其加工尺寸能够到达微米级别,乃至更小,且能够用于创造任何互连的3D形态,其干系体例已发布于OpticsExpress中。

行使该工艺创造的种种硫属化物红外玻璃与熔融石英玻璃相联结的组织图

关于这类新式工艺,协商人员首先行使飞秒激光(聚焦光斑约为1μm)对石英玻璃基板改性;其次行使湿法化学刻蚀在基板内创造一个随意形态的3D空腔;而后再将微型模具安放在玻璃坩埚中,并将硫属化物玻璃安放在顶部举办浸透,在此期间为了使红外玻璃成功的加入模具,还需施加10MPa的静压压力;末了,在坚持压力的同时冷却样本,经过抛光去除有余的硫属化物后,获得熔融石英中3D硫属化物微组织的最后产物。其它,红外玻璃材料还能够更换为金属、玻璃或任何熔点低于二氧化硅基材且不与二氧化硅玻璃反映的材料。

新式工艺过程示用意

该协商小组的负责人Bellouard表示:“咱们的缔造法子能够完好的守护红外玻璃,并为完成微型红外光子集成电路开垦了新道路。其它,由于熔融石英和硫属化物具备高折射率相比度,咱们能够将这些材料制成红外波导,使其能够像光纤同样对光举办传输。”

他们还增加道,基于该工艺创造的一些组织能够有用地用于8μm量子级联激光器中,将来他们将延续摸索新工艺在组合不同玻璃方面的技能,并蓄意在光谱学和其余运用中测试复合材料器件。

若想相识论文原文,可点击文末“赏玩原文”举办观察。

本文由光电汇王越编译,如需转载请讲授。

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